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晶盛机电12英寸单片式碳化硅外延发展设备成功交
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晶盛机电12英寸单片式碳化硅外延发展设备成功交

  • 分类:机械自动化
  • 作者:J9直营集团官网
  • 来源:
  • 发布时间:2025-12-26 20:21
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  每经AI快讯,12月24日,据晶盛机电官微动静,近日,12英寸单片式碳化硅外延发展设备成功交付全球头部SiC外延晶片出产商瀚天天成。此次研发的12英寸单片式SiC外延设备可兼容8、12英寸SiC外延出产,实现了晶圆概况温度高精度闭环节制、同时设备配备了从动化上/下料模块及一键从动PM辅帮功能,大幅提拔颗粒节制能力和效率。

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